تاثیر خطاى بایاس و جداسازى مدهاى تحریک و حس در طراحى و آنالیز ژیروسکوپ شانه ایى MEMS

تاثیر خطاى بایاس و جداسازى مدهاى تحریک و حس در طراحى و آنالیز ژیروسکوپ شانه ایى MEMS

در ژیروسکوپ طراحی شده وجود چهار تیرک حسگر باعث می شود که مدهای تحریک و آشکار سازی از یکدیگر جدا شده ، برای هنگامی که 0=Ω و 0=Kc مقدار تغییرات جابجایی در جهت y به اندازه ایی از مرتبه 1-10 و در جهت z به اندازه ایی از مرتبه 9-10 کاهش یافته و به تبع آن جفت شدگی بین مدهای تحریک و آشکار سازی ...

دریافت فایل