یکی از ادوات سیستمهای نانو الکترو مکانیکی ، سنسورها و عملگرهای پیچشی نانوالکتروستاتیک می باشند، که با توجه به تحقیقات انجام شده دارای کاربرد فراوانی در صنعت از جمله، کاربرد در میکروسکوپ نیروی اتمی ، وسائل ارتباطات نوری، اسکنهای لیزری، مدولاتورهای سبک، عملگرها و حسگرهای ...