در این پژوهش مکانیسم آنالیز RBS بطور کامل به همراه فیلم آموزشی مورد بررسی و مطالعه قرار گرفته است،چکیده: این روش رایج مشخصهسازی لایههای نازک، با استفاده از پرتوهای یونی سبک و پرانرژی (چند صد مگا الکترون ولت) انجام میشود. چنین پرتوهایی میتوانند هزاران آنگسترم یا حتی چند میکرون به عمق لایه و یا ..