ساخت Cantilever میکروسکوپ نیروی اتمی Fabrication of AFM cantilevers

ساخت Cantilever میکروسکوپ نیروی اتمی Fabrication of AFM cantilevers

در این مقاله ، تکنولوژی ساخت Cantileverمیکروسکوپ نیروی اتمی به روش Self-Sharpening nano Silicon وپیزوالکتریک پایه ALN مورد بررسی قرار گرفته است . tip های نانو سیلیکون ، بوسیله تکنولوژی اچ تر ناهمسانگرد و مکانیزم خود تیز شو(Self Sharpening) با استفاده از ماسکهای مخصوص 3 و 5 وجهی تولید می گردند ...

دریافت فایل